중소기업전략기술로드맵에서 관심 분야의 정보를 공유하고자 합니다. 반도체 로봇 자동화 핵심 기술 초정밀·무결점 생산을 위한 자율 공정 시스템 반도체 산업은 모든 제조업 중 가장 높은 수준의 정밀도와 청정도를 요구한다.

미세 공정이 5nm 이하로 진입하면서 인간 작업 개입은 사실상 한계에 도달했고, 이에 따라 로봇 자동화는 선택이 아닌 필수 인프라로 자리 잡았다. 특히 최근에는 AI 기반 공정 제어까지 결합되면서 반도체 공장은 “완전 자동화 팹(Full Auto Fab)”으로 진화하고 있다.

반도체 자동화의 정의 반도체 로봇 자동화는 웨이퍼 이송, 공정 처리, 검사, 물류까지 전 과정을 로봇과 시스템으로 통합하는 기술이다. 핵심 목적은 다음과 같다.

오염 최소화 공정 정밀도 확보 생산 효율 극대화 불량률 최소화 핵심 기술 구조 반도체 자동화는 다음 5가지 핵심 기술로 구성된다. 1. 웨이퍼 이송 로봇 (Wafer Handling Robot) 가장 기본이면서 핵심 기술이다.

웨이퍼 픽앤플...